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探針臺的精度(定位精度、接觸精度、漏測率、重復性)對環(huán)境條件極其敏感,溫度、振動、濕度、氣壓、電磁干擾、光照/粉塵等都會直接導致探針偏移、接觸不良、測量漂移、圖像失焦,最終影響芯片/器件測試的良率與數(shù)據(jù)可靠性。下面按影響權重從高到低,逐一拆解環(huán)境條件如何作用于探針臺精度,并給出關鍵規(guī)律。一、溫度與溫度波動(影響最大,直接決定定位精度)溫度是探針臺精度的首要環(huán)境影響因素,主要通過材料熱脹冷縮、部件形變、圖像與傳感器漂移破壞精度。絕對溫度變化→整機尺寸漂移探針臺的基座、XYθ平臺...
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探針臺精度的影響因素:從硬件到環(huán)境全解析探針臺的精度直接決定半導體芯片、晶圓、器件的電性能測試準確性,其誤差來源覆蓋硬件結構、系統(tǒng)配置、環(huán)境條件、操作規(guī)范四大維度,以下是核心影響因素的詳細拆解,精準對應精度優(yōu)化方向。一、硬件核心部件:精度的基礎保障硬件部件的加工精度和穩(wěn)定性是影響探針臺精度的核心,關鍵部件的微小誤差會被放大,直接影響探針定位和接觸效果。1.定位系統(tǒng):精度的核心載體定位系統(tǒng)決定探針移動的精準度,是誤差的主要來源之一,核心影響因素包括:導軌精度:直線導軌的直線度、...
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探針臺的核心工作原理是“精準定位+穩(wěn)定接觸+信號傳輸”,通過機械結構驅動探針與微納器件(芯片、半導體、傳感器等)的特定測試點建立電學/光學連接,配合外部測試儀器(示波器、萬用表、光譜儀)采集數(shù)據(jù),實現(xiàn)對微納器件性能的檢測與分析,具體拆解如下:一、核心組成與功能分工(支撐原理實現(xiàn)的關鍵部件)精密定位系統(tǒng):含XY軸載物臺、Z軸探針座,核心作用是將器件測試點與探針精準對齊。載物臺通過步進電機/壓電陶瓷驅動,重復定位精度可達納米級(部分機型≤10nm),確保在微米/納米尺度下找到目標...
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手動探針臺是半導體、電子器件研發(fā)及材料科學領域中常用的測試設備,其核心功能是通過精密機械控制實現(xiàn)對微小器件的電性能測試。通常由主體框架、探針支架、樣品臺及控制裝置構成。主體框架為金屬材質,確保設備穩(wěn)定性;探針支架支持多維微調(如X/Y/Z軸),用于固定探針并調整其位置;樣品臺位于探針下方,可放置待測樣品并通過機械控制實現(xiàn)旋轉或平移。手動探針臺的測試流程:-樣品固定:將待測器件置于樣品臺,通過真空卡盤吸附或機械夾具固定,確保測試過程中樣品穩(wěn)定。-探針定位:在顯微鏡輔助下,操作人...
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一、定位失準:快速排查與修復現(xiàn)象:探針無法準確接觸晶圓或芯片的測試點,導致測試數(shù)據(jù)異常。1.機械結構檢查(5分鐘)X/Y/Z軸松動:檢查探針臺臺面或探針臂的鎖緊螺絲是否松動。緊固螺絲后,用千分表測試臺面重復定位精度。導軌卡滯:清潔導軌,涂抹少量潤滑脂。手動推動臺面,檢查是否有卡頓或異響。2.光學系統(tǒng)校準(10分鐘)顯微鏡對焦偏移:調整顯微鏡物鏡高度,確保晶圓表面清晰成像。使用校準片(如10μm線寬的金屬網(wǎng)格)驗證對焦準確性。CCD攝像頭偏移:運行軟件中的“攝像頭校準”功能,重...
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借助ESD測試設備為芯片筑牢靜電防護墻,需從測試設備選型、測試方法實施、防護優(yōu)化策略、體系化防護建設四個層面系統(tǒng)推進,具體方案如下:一、精準選型ESD測試設備,覆蓋核心測試模型芯片ESD防護需針對不同放電模式進行驗證,需配備以下關鍵測試設備:HBM(人體模型)測試儀模擬人體帶電接觸芯片引腳時的放電過程,測試電壓范圍通常覆蓋200V-8kV。核心作用:驗證芯片在生產、組裝環(huán)節(jié)中因人體操作引發(fā)的靜電風險耐受能力。MM(機器模型)測試儀模擬自動化設備帶電接觸芯片時的放電,其放電速度...
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一、射頻探針的關鍵技術特點使其能精準滿足高頻測試需求1.高頻率響應:射頻探針的設計和采用的射頻優(yōu)化材料是實現(xiàn)高頻率響應的關鍵。在5G通信設備測試中,射頻探針需處理高達數(shù)十GHz的信號,其設計確保在如此高頻率下,仍能穩(wěn)定、準確地傳輸和測量信號,滿足現(xiàn)代高頻電路和通信設備對信號頻率的測試需求。2.精確測量能力:一方面,探針頭經(jīng)過精密設計,能實現(xiàn)與被測電路的精準接觸。像采用微小的結構,能在微米級甚至納米級尺度上與電路板或芯片表面接觸。另一方面,高度穩(wěn)定的運動控制系統(tǒng)配合。這使得射頻...
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在ESD(靜電放電)標準持續(xù)迭代的背景下,全自動芯片ESD測試設備可通過標準化兼容設計、模塊化架構升級、智能化測試技術融合三大核心策略實現(xiàn)“以不變應萬變”,具體分析如下:一、標準化兼容設計:覆蓋全球主流標準體系多標準協(xié)議內置設備需集成IEC61000-4-2(國際通用)、ISO10605(汽車電子)、JESD22(半導體行業(yè))、AEC-Q100(車規(guī)級芯片)等主流標準測試模式,通過軟件參數(shù)配置快速切換測試條件(如電壓范圍±2kV至±25kV、放電間...