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在高頻集成電路（如5G射頻前端、毫米波雷達(dá)、功率放大器等）的研發(fā)與量產(chǎn)中，射頻探針臺(tái)作為連接被測(cè)器件（DUT）與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀（VNA）的關(guān)鍵接口平臺(tái)，其測(cè)量精度直接決定器件建模、參數(shù)提取和良率判斷的可靠性。而校準(zhǔn)是消除測(cè)試系統(tǒng)誤差、實(shí)現(xiàn)可溯源高精度S參數(shù)測(cè)量的核心環(huán)節(jié)?，F(xiàn)代射頻探針臺(tái)通常支持多種校準(zhǔn)方式，用戶(hù)需根據(jù)頻率范圍、測(cè)試結(jié)構(gòu)、精度需求及自動(dòng)化程度進(jìn)行合理選擇。一、SOLT校準(zhǔn)SOLT是經(jīng)典、應(yīng)用廣泛的二端口校準(zhǔn)方法，適用于同軸連接或標(biāo)準(zhǔn)微帶線結(jié)構(gòu)。在探針臺(tái)場(chǎng)景中，需...
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國(guó)產(chǎn)探針臺(tái)作為一種精密測(cè)試設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子元器件等領(lǐng)域的測(cè)試與測(cè)量。然而，為了確保探針能夠精準(zhǔn)接觸到被測(cè)樣品，初始調(diào)校與定位是至關(guān)重要的一步。本文將詳細(xì)介紹如何對(duì)國(guó)產(chǎn)探針臺(tái)進(jìn)行調(diào)校與定位。1.準(zhǔn)備工作在進(jìn)行任何調(diào)校與定位之前，首先需要做好充分的準(zhǔn)備工作：檢查設(shè)備狀態(tài)：確保探針臺(tái)已正確連接電源，并且沒(méi)有明顯的物理?yè)p壞。清理工作環(huán)境：保持測(cè)試環(huán)境的整潔，確保工作臺(tái)面沒(méi)有雜物，以防止外界干擾。準(zhǔn)備必要工具：如螺絲刀、水平儀、顯微鏡等輔助工具，幫助完成調(diào)校過(guò)程。2.調(diào)校步...
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高低溫探針臺(tái)使用時(shí)需要將待測(cè)試的樣品放置在的加熱和冷卻組件上，確保樣品處于合適的位置以便后續(xù)操作，啟動(dòng)加熱系統(tǒng)，按照設(shè)定的程序?qū)悠芳訜岬剿璧母邷兀换蛘邌?dòng)制冷系統(tǒng)，使冷卻組件降溫至規(guī)定的低溫。溫度控制系統(tǒng)通常采用液氮或液氦制冷結(jié)合電加熱的方式，可實(shí)現(xiàn)較寬范圍的準(zhǔn)確調(diào)控，如從4K至500K甚至更高的溫度區(qū)間。利用精密的探針定位系統(tǒng)，調(diào)整探針的位置，使其與樣品上的特定測(cè)試點(diǎn)(如芯片的焊盤(pán)等)實(shí)現(xiàn)微米級(jí)精度的可靠接觸。這樣，測(cè)量系統(tǒng)就能通過(guò)探針向樣品輸入電信號(hào)，并接收來(lái)自樣品的...
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射頻探針是一種用于與射頻電路或器件進(jìn)行物理接觸，以實(shí)現(xiàn)信號(hào)傳輸和測(cè)量的精密裝置。它通常由探針頭、傳輸線和連接器等部分組成。探針頭是與被測(cè)對(duì)象直接接觸的部分，其形狀和尺寸經(jīng)過(guò)精心設(shè)計(jì)，以確保良好的電氣接觸和信號(hào)干擾；傳輸線負(fù)責(zé)將探針頭采集到的射頻信號(hào)傳輸?shù)綔y(cè)試儀器；連接器則用于將射頻探針與測(cè)試儀器或其他設(shè)備連接起來(lái)，實(shí)現(xiàn)信號(hào)的穩(wěn)定傳輸。射頻探針的工作原理基于電磁場(chǎng)的相互作用。當(dāng)探針頭與被測(cè)射頻電路或器件接觸時(shí)，會(huì)在接觸點(diǎn)處形成一個(gè)微小的電磁場(chǎng)耦合區(qū)域。在這個(gè)區(qū)域內(nèi)，射頻信號(hào)的電...
3-7
在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，靜電放電（ESD）是一種潛在的風(fēng)險(xiǎn)，可能對(duì)晶圓、設(shè)備和人員安全造成嚴(yán)重影響。晶圓ESD測(cè)試機(jī)作為測(cè)試和驗(yàn)證半導(dǎo)體器件的工具，必須采取有效的安全措施，以防止靜電傷害和設(shè)備損壞。本文將探討在晶圓ESD測(cè)試機(jī)操作中應(yīng)遵循的安全措施。一、靜電放電的危害靜電放電可能對(duì)晶圓表面產(chǎn)生破壞性影響，導(dǎo)致電路短路、損壞或性能不穩(wěn)定。此外，靜電放電不僅會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量，還可能損壞敏感設(shè)備，造成生產(chǎn)停滯。因此，保護(hù)晶圓和設(shè)備免受靜電損害是操作過(guò)程中至關(guān)重要的一環(huán)。二、人員防護(hù)措施操...
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在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，確保器件的可靠性和性能至關(guān)重要。TLP傳輸線脈沖測(cè)試儀憑借其優(yōu)勢(shì)，成為半導(dǎo)體制造過(guò)程中的重要工具，在多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)發(fā)揮著重要作用。在半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)階段，TLP傳輸線脈沖測(cè)試儀助力優(yōu)化ESD（靜電放電）保護(hù)設(shè)計(jì)。ESD是半導(dǎo)體器件面臨的重大威脅，可能在瞬間造成器件永久性損壞。TLP測(cè)試儀通過(guò)產(chǎn)生精準(zhǔn)模擬實(shí)際ESD事件的脈沖信號(hào)，施加到設(shè)計(jì)的芯片樣本上。工程師借助測(cè)試儀精確測(cè)量芯片在脈沖作用下的電流、電壓變化，深入分析ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)的響應(yīng)特性。依據(jù)這些數(shù)據(jù)，能夠找...
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在半導(dǎo)體行業(yè)飛速發(fā)展的今天，芯片設(shè)計(jì)越來(lái)越復(fù)雜，測(cè)試難度也隨之增加。高功率探針臺(tái)作為集成電路生產(chǎn)線上關(guān)鍵的一環(huán)，承擔(dān)著驗(yàn)證產(chǎn)品電氣特性的重要任務(wù)。然而，“盲目探測(cè)”不僅浪費(fèi)資源，還可能導(dǎo)致樣品損壞甚至測(cè)試失效。本文旨在分享有效策略，助您駕馭高功率探針臺(tái)，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)、高效的測(cè)試。一、理解您的需求首先，明確您的測(cè)試目標(biāo)是什么。是需要高電流測(cè)試，還是高頻響應(yīng)？或是特定的電壓范圍？不同的芯片類(lèi)型（如功率器件、射頻芯片等）有不同的測(cè)試需求。選擇合適配置的探針臺(tái)至關(guān)重要。二、精心挑選探針卡...
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大功率探針臺(tái)是半導(dǎo)體、集成電路、光電器件測(cè)試領(lǐng)域中一種專(zhuān)門(mén)用于承載和測(cè)試大電流、高電壓器件的專(zhuān)業(yè)設(shè)備。它的設(shè)計(jì)目的是為了能夠在不破壞待測(cè)元件的情況下，對(duì)其進(jìn)行精準(zhǔn)的電氣特性測(cè)試，比如功率晶體管、LED、激光二極管等。大功率探針臺(tái)，在使用過(guò)程中確實(shí)存在一些安全隱患，特別是當(dāng)涉及到高電壓、大電流的測(cè)試環(huán)境時(shí)，必須采取嚴(yán)格的預(yù)防措施以保障人身安全及設(shè)備完好。以下列舉了幾種常見(jiàn)隱患及其防范策略：一、高電壓風(fēng)險(xiǎn)防范措施：1.絕緣防護(hù)：穿戴絕緣手套、絕緣鞋，使用帶有絕緣層的工具。2.隔離...